当研究室では、カーボンナノチューブを作る装置、加工する装置、および測定する装置を完備し、ほとんどの実験を研究室内で実施しています。
化学気相堆積装置（CVD）
横型石英炉に反応ガスをデジタルマスフローで最大6系統を制御して供給します。圧力は真空から大気圧までコンピュータで制御します。
RFマグネトロンスパッタリング
●キャノンアネルバ・SPF-550H
CNTを成長させるための触媒金属や、触媒ナノ粒子を形成するための金属酸化層などを堆積させる装置です。5種類のターゲットを配置しており、連続して多層成膜が可能です。
ソフトプラズマエッチング
●メイワフォーシス・SEDE-P
アルゴンや酸素などのプラズマにより、CNTを削ったり官能基を修飾したりできます。
小型誘導加熱炉
●SKメディカル電子・MU-αIV
誘導加熱によりカーボンルツボを急速に加熱します。CNTの結晶性を高めるため、2300℃以上に加熱します。
CNT紡績糸作製装置
CNTに高速で撚り（回転）をかけながら引き出して糸を作製します。研究室で自作した装置です。
CNTシート作製装置
CNTウェブを巻き上げてCNTシートを作製します。
スピンコーター
●ミカサ・MS-A100
ナノ粒子を基板に塗布したり、フォトリソグラフィのレジストを塗布する際に使用します。
ホットプレス
●東洋精機製作所・MP-SCH
加熱（最高250℃）と加圧を同時に行い、CNTと樹脂の複合材料を作製します。
遠心分離機
ナノ粒子を化学合成で作製した後に、溶液中で分離するために使用します。
電気炉
樹脂硬化や伝導特性の温度特性評価など、多用途で使用します。
